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快速退火工艺在MEMS制造中的核心应用
来源: | 作者:博视君 | 发布时间: 2024-05-10 | 1538 次浏览 | 分享到:
相较于高温炉管退火，快速退火工艺有着热预算少、硅中杂质运动小、玷污小和加工时间短等优势，为MEMS器件的制造提供了强有力的技术支持。


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