快速退火炉是一种在制造过程中广泛使用的热处理设备，它利用卤素红外灯作为热源，通过极快的升温速率，将晶圆或材料快速加热到300℃-1200℃，以消除材料内部的一些缺陷并改善产品性能。这种设备能够在短时间内完成退火过程，大大提高生产效率。

● 技术特点

快速退火炉采用先进的微电脑控制系统和PID闭环控制温度，以实现极高的控温精度和温度均匀性。同时，它可配置真空腔体，也可根据用户工艺需求配置多路气体，以满足不同材料和处理需求。

快速退火炉在金属加工、汽车制造、航空航天等众多行业中有着广泛的应用。在金属加工中，它可以用于热处理各种金属材料，提高材料的硬度、韧性和耐腐蚀性能；在汽车制造领域，它可用于对汽车零部件进行退火处理，提高零部件的强度和耐用性；在航空航天领域，它可用于对航空发动机部件、航天器零部件等进行退火处理，提高零部件的性能和寿命。

● 产品推荐

【博视广达自立式快速退火炉】

博视广达快速退火炉(RTP,Rapid Thermal Processing) 系列产品，采用红外辐射加热及冷壁技术，可实现对实验材料的快速升温和降温，同时搭配超高精度的温度控制系统，可达到极佳的温场均匀性，对材料的快速热处理、快速退火、快速热氧化、快速热氮化及金属合金化等研究和生产工作起到重要作用。

产品主要分为RTP-3-06 、RTP-3-08 等，分别能处理1-8时样本，支持多种配置选择，如可选择 SECS/GEM、1-4路气氛、自动开关门、灯光分区控制、PID 自动配置等；可实现炉壁温度监视、水冷异常监视、真空度监视、腔体压力监视等；有丰富的附件选择： 碳化硅石墨托盘、石英样品托 架、红外加热灯管、石英腔体/板、TC-Wafer  校准仪等。

● 一般参数

● 主要工艺应用

✔ 快速热处理(RTP)，快速退火(RTA)，快速热氧化(RTO)，快速热氮化(RTN)；

✔ 离子注入/接触退火；

✔ SiAu、SiAl、SiMo合金化；

✔ 太阳能电池片键合；

✔ 电阻烧结；

✔ 低阶电材料热处理；

✔ 晶体化、致密化；

✔ 材料制备；

✔ 高温退火；

✔ 高温扩散。

● 主要应用领域

✔ 化合物半导体（InP磷化铟、GaAs砷化镓、氮化物、SiC碳化硅等）；

✔ 多晶硅；

✔ 太阳能电池片；

✔ MEMS等传感器；

✔ 二极管、MOSFET及IGBT等功率器件；

✔ MiniLED，MicroLED、CMOS等光电器件；

✔ I C晶圆。

---------------------------------------------------------------------------------------------

博视广达科技立足于数据智能分析和制造，专注于光、声、电性能检测设备，拥有自主研发和核心知识产权的产品体系，包括快速退火炉、超声扫描显微镜、液晶缺陷检测设备、精密器件外观检测设备、手机手表手环测试设备、二手手机质量评估系统等序列产品。

如果您有测试和热处理工艺需求，欢迎探讨和咨询！