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设备搭载专属薄膜表面显微分析核心模块,融合高分辨率显微成像、激光自动对焦、精密三轴运动控制、大幅面图像拼接以及AI智能缺陷识别多项核心技术,全自动完成薄膜全域表面缺陷扫描精准判定、类型分类与检测数据一键输出。